控制纳米颗粒的大小华体会体育平台

使用NL50沉积纳米颗粒比以往任华体会体育平台何时候都要简单,使用各种常用材料的预载优化配方,包括金、银、铂和铜。

这些优化配方产生高品质的纳米涂层,每种材料的沉积速率都很高。而且荷兰50用户还可以通过改变氩气流量和磁控管电流(功率)这两个简单的参数来改变沉积纳米颗粒的尺寸分布。华体会体育平台

氩气流量和磁控管电流都会影响真空室内的热力学。修改这些参数可以促进或阻碍纳米颗粒的生长,从而改变所产生的纳米颗粒尺寸范围。

随着磁控管功率或气体流量的增加,纳米颗粒尺寸的总体趋势。

图1. 随着磁控管功率或气体流量的增加,纳米颗粒尺寸的总体趋势。图片来源:Nikalyte有限公司

磁控管电流(功率)的影响

当增加磁控管电流时,磁控管的功率也会上升,从而从靶中溅射出更多的材料。随后可用材料的增加通常会增加生成的纳米颗粒的数量(增加沉积速率)以及增强生成的纳米颗粒的尺寸。华体会体育平台

改变氩气流量的影响

改变氩气流量的效果要复杂一些。氩气流量的增加将增加准备形成的溅射材料的数量纳米颗粒华体会体育平台.

然而,随着气体流量和压力的升高,氩离子通过非弹性碰撞逐渐冷却(热化)纳米颗粒,从而抑制纳米颗粒的生长。华体会体育平台

因此,随着氩气流量的增加,纳米颗粒尺寸的增加和减小并不罕见。虽然性能的变化取决于材料,但建议用户对工艺条件进行试验,以确定适合其特定材料要求的最佳气体流量和磁控管电流。

用NL50改变纳米颗粒的大小

要调整工艺条件,用户只需在设置向导的步骤4中更改气流或电流,如图2所示。更改纳米颗粒尺寸分布上的电流或气流的结果也如图2所示。

图2. NL50的用户界面显示电流和气体流量控制选项(顶部)、磁控管电流对Ni纳米粒子尺寸分布的影响(左下)和氩气流量对纳米粒子尺寸分布的影响(右下)。图片来源:Nikalyte有限公司

如图1所示,图2显示了随着电流的增加,镍纳米颗粒分布向更大尺寸的变化。

当在高磁控管电流下产生的等离子体温度对镍纳米颗粒的最大生长来说太大时,在300mA下观察到的信号下降,这表明有必要在沉积速率和纳米颗粒尺寸之间做出选择。

改变镍的氩气流量的结果清楚地表明,随着氩离子越来越抑制纳米颗粒的生长,溅射材料的形成增加,从而产生纳米颗粒。

图2显示了随着氩气流量的增加,镍纳米颗粒尺寸向更小的转变。最初,纳米颗粒的数量随着气体流量的增加而增加,这表明在40sccm处会产生更多的更小的纳米颗粒,沉积速率达到峰值。华体会体育平台

继续增加气体流量会导致纳米颗粒的尺寸和数量随着气体的热化而减小华体会体育平台纳米颗粒华体会体育平台变得更占主导地位。

图3显示了不同电流和气流的测量趋势的纳米颗粒峰值位置,表明仅通过操纵两个过程变量就可以实现不同尺寸的广泛范围。

图3。三种不同磁控管电流下氩气流量下镍纳米颗粒的峰值大小。图片来源:Nikalyte有限公司

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引文

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    Nikalyte有限公司(2021205年7月)。控制纳米颗粒的大小。偶氮纳米。2021年7月7日从https://ww华体会体育平台w.azonano.com/article.aspx?ArticleID=5772.

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    Nikalyte有限公司,2021年。控制纳米颗粒的大小华体会体育平台. AZoNano,查阅日期:2021年7月7日,//www.quint-software.com/article.aspx?ArticleID=5772.

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